T. Kubota and Y. Saito: "Atomic-hydrogen-induced reaction on fluorine adsorbed silicon surfaces" Proc. of the 8th Int. Conf. on Micro Process. 発表予定. (1995)
T. Kubota and Y. Saito: "Atomic-hydrogen-induced reaction on fluorine adsorbed silicon surfaces" Proc. of the 8th Int. Conf. on Micro Process. 発表予定. (1995)
复制标题
T. Kubota 和 Y. Saito：“氟吸附硅表面上的原子氢诱导反应”，第 8 届国际会议论文集（1995 年）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
