E.Makino: "Fabrication of TiNi shape memory actuator for micropump"Proc.SPIE, Electronics and Structures for MEMS. 3891. 328-335 (1999)
E.Makino: "Fabrication of TiNi shape memory actuator for micropump"Proc.SPIE, Electronics and Structures for MEMS. 3891. 328-335 (1999)
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E.Makino：“微型泵用 TiNi 形状记忆执行器的制造”Proc.SPIE，MEMS 电子学和结构。
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