Influence of small grounded surface on plasma property in an inductively-coupled plasma with floating liner
Influence of small grounded surface on plasma property in an inductively-coupled plasma with floating liner
复制标题
浮动衬里电感耦合等离子体中小接地表面对等离子体特性的影响
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Hirotaka Toyoda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Manabu Kyuzo;Yukinori Chiba;Haruka Suzuki;and Hirotaka Toyoda
