ベッセルビームを用いたレーザーマイクロ加工
ベッセルビームを用いたレーザーマイクロ加工
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使用贝塞尔光束的激光微加工
DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
河野正道ら
中科院分区:
文献类型:
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作者:
北川石英;小菅桂太;内田健司;萩原良道;河野正道ら;M.Kohno et al.;S.Kawauchi et al.;河野正道ら