Phase-shifting interferometer/ellipsometer capable of measuring the complex index of refraction and the surface profile of a test surface.
Phase-shifting interferometer/ellipsometer capable of measuring the complex index of refraction and the surface profile of a test surface.
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相移干涉仪/椭偏仪能够测量测试表面的复杂折射率和表面轮廓。
DOI：
10.1364/josaa.15.000538
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发表时间：
1998
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Barrett,HH
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Rogala,EW;Barrett,HH
