Influence of Magnetic Field on Turbomolecular Pumps
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磁场对涡轮分子泵的影响
DOI：
10.3131/jvsj.27.419
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发表时间：
1984
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
S. Shimamoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Nishide;Shizuka Hashimoto;M. Iguchi;Shigeru Kaneto;H. Oikawa;O. Yamashita;Y. Neyatani;Katsumi Kitahara;Takayuki Oshima;S. Shimamoto
