3D プリンターを用いた微細毛構造を持つ双極型静電チャックモジュールの開発
3D プリンターを用いた微細毛構造を持つ双極型静電チャックモジュールの開発
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利用3D打印机开发微毛结构双极静电吸盘模块
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
齊藤 滋規
中科院分区：
文献类型：
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作者：
河野 健人;Hemthavy Pasomphone;高橋 邦夫;齊藤 滋規
