プラズマCVD法で作製したシリカ膜構造へのキャリアガスの影響
プラズマCVD法で作製したシリカ膜構造へのキャリアガスの影響
复制标题
载气对等离子体CVD法制备二氧化硅薄膜结构的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
竹田依加・出口利樹・河瀬元明
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Erika Takeda;Toshiki Deguchi;Motoaki Kawase;竹田依加・出口利樹・河瀬元明
