Characterization of mechanical properties of the carbon mechanical nanostructure fabricated from SU-8 resist by FIB/EB dual-beam lithography
Characterization of mechanical properties of the carbon mechanical nanostructure fabricated from SU-8 resist by FIB/EB dual-beam lithography
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FIB/EB 双束光刻法表征 SU-8 抗蚀剂制备的碳机械纳米结构的机械性能
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
E. Maeda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Kometnai;Y. Miyata;E. Maeda
