熱酸化SiO_2/SiC構造における紫外線誘起欠陥の評価
熱酸化SiO_2/SiC構造における紫外線誘起欠陥の評価
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热氧化SiO_2/SiC结构中紫外诱导缺陷的评估
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
池口大輔;他
