ペルチェモジュールによる精密位置決め装置の熱変形ドリフトの低減
ペルチェモジュールによる精密位置決め装置の熱変形ドリフトの低減
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使用珀耳帖模块减少精密定位设备的热变形漂移
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鈴木隆太郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yutarou Teramoto;Takahiko Hakamata;Jiro Ohtsuka;Takashi Nozaki;Atsushi Nakata;Ning Zhu;Ryutaro Suzuki and Tetsuhiro Nishide;森松詩織，瀬戸雅宏，鈴木亨，田中宏明，山部昌;鈴木隆太郎;森松詩織，瀬戸雅宏，鈴木亨，田中宏明，山部昌;Ning Zhu;Ohtsuka Jiro;瀬戸雅宏，田中宏明，山部昌;鈴木隆太郎
