ZnOの反応性イオンエッチングによる損傷とHClによる損傷回復
ZnOの反応性イオンエッチングによる損傷とHClによる損傷回復
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ZnO 反应离子蚀刻造成的损伤及 HCl 损伤恢复
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
秩父重英
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中須大蔵;嶋紘平;小島一信;秩父重英
