Improving Thermal Linearity and Quality Factor of Al 72 Sc 28 N Contour Mode Resonators Using Acoustic Metamaterials based Lateral Anchors
Improving Thermal Linearity and Quality Factor of Al 72 Sc 28 N Contour Mode Resonators Using Acoustic Metamaterials based Lateral Anchors
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使用基于声学超材料的横向锚改善 Al 72 Sc 28 N 轮廓模式谐振器的热线性度和品质因数
DOI：
10.1109/eftf/ifcs54560.2022.9850683
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Cassella, Cristian
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Zhao, Xuanyi;Kaya, Onurcan;Pirro, Michele;Kang, Sungho;Cassella, Cristian
