反応性スパッタ法により成膜した窒化ハフニウム薄膜の仕事関数の窒素組成依存性
反応性スパッタ法により成膜した窒化ハフニウム薄膜の仕事関数の窒素組成依存性
复制标题
反应溅射法沉积氮化铪薄膜功函数的氮成分依赖性
DOI：
--
复制
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
後藤康仁
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
大住知暉;長尾昌善;後藤康仁
