Investigation of a two-dimensional microscale RF sheath model
Investigation of a two-dimensional microscale RF sheath model
复制标题
二维微尺度射频鞘模型的研究
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Kohno
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. R. Myra;H. Kohno
