イオンビーム支援蒸着法により成膜したTiN薄膜の破壊挙動
イオンビーム支援蒸着法により成膜したTiN薄膜の破壊挙動
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离子束辅助沉积法沉积TiN薄膜的破坏行为
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内田仁
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中谷正憲;花木聡;内田仁
