反応スパッタ法により作製したTiN/Ti-O-N積層膜の構造
反応スパッタ法により作製したTiN/Ti-O-N積層膜の構造
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反应溅射法制备TiN/Ti-O-N多层薄膜的结构
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
池野 進
中科院分区：
文献类型：
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作者：
村岡 雄介;李 昇原;松田 健二;野瀬 正照;池野 進
