低温原子層堆積法による積層AlN、Al2O3ガスバリアの試作と評価
低温原子層堆積法による積層AlN、Al2O3ガスバリアの試作と評価
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采用低温原子层沉积方法制备叠层 AlN 和 Al2O3 阻气层的原型并进行评估
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
廣瀬 文彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
齋藤 健太郎;吉田 一樹;三浦 正範;鹿又 健作;有馬 ボシールアハンマド;久保田 繁;廣瀬 文彦
