E. Makino, T. Mitsuya, and T. Shibata: "Fabrication of TiNi shape memory actuator for micropump"Proc. SPIE, Electronics and Structures of MEMS. vol.3891. 328-335 (1999)
E. Makino, T. Mitsuya, and T. Shibata: "Fabrication of TiNi shape memory actuator for micropump"Proc. SPIE, Electronics and Structures of MEMS. vol.3891. 328-335 (1999)
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E. Makino、T. Mitsuya 和 T. Shibata：“微型泵用 TiNi 形状记忆执行器的制造”Proc。
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