レーザーアブレーション法により生成したSiナノ細線 : -酸化による細線径および応力の制御と不純物ドーピング-

レーザーアブレーション法により生成したSiナノ細線 : -酸化による細線径および応力の制御と不純物ドーピング-
复制标题

采用激光烧蚀法生产的硅纳米线:-通过氧化和杂质掺杂控制线径和应力-

DOI:
--
复制
发表时间:
2006
期刊:
応用物理学会誌 12月号
影响因子:
--
通讯作者:
深田直樹
深田直樹
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
N.Fukata;T.Oshima;N.Okada;T.Kizuka;T.Tsurui;S.Ito;K.Murakami;深田直樹

文献摘要

相似文献