EUV用化学増幅型レジストにおける酸発生のポリマー構造依存性
EUV用化学増幅型レジストにおける酸発生のポリマー構造依存性
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EUV 化学放大抗蚀剂中酸生成的聚合物结构依赖性
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山本 洋揮
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroki Yamamoto;Takahiro Kozawa;Kazumasa Okamoto;Akinori Saeki;Seiichi Tagawa;Tomoyuki Ando;Mitsuru Sato;Hiroji Komano;山本 洋揮
