E. Purwanto and S. YOYAMA: "Sub-micron level fine alignment system by using the ultrasonic spherical motor"Proc. Of Tenth World Congress on TMM. Vol. 5. 1997-2002 (1999)
E. Purwanto and S. YOYAMA: "Sub-micron level fine alignment system by using the ultrasonic spherical motor"Proc. Of Tenth World Congress on TMM. Vol. 5. 1997-2002 (1999)
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E. Purwanto 和 S. YOYAMA：“使用超声波球形电机的亚微米级精细对准系统”Proc。
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