Fabrication and optical characterization of GaN micro-disk cavities undercut by laser-assisted photo-electrochemical etching
Fabrication and optical characterization of GaN micro-disk cavities undercut by laser-assisted photo-electrochemical etching
复制标题
激光辅助光电化学蚀刻 GaN 微盘腔底切的制造和光学表征
DOI：
10.35848/1347-4065/acb65a
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发表时间：
2023
影响因子：
1.5
通讯作者：
and K. Uchida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Tajiri;S. Sosumi;K. Shimoyoshi;and K. Uchida
