Development of Automatic Impedance Matching System for Resonant Cavity Applicator
Development of Automatic Impedance Matching System for Resonant Cavity Applicator
复制标题
谐振腔施加器自动阻抗匹配系统的研制
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Fujii
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Shindo;K. Kato;H. Takahashi;T. Uzuka;Y. Fujii
