新宮原 正三: "多層配線技術の最新動向 -銅配線/低誘電率膜-"EDリサーチ社. 54 (2002)
新宮原 正三: "多層配線技術の最新動向 -銅配線/低誘電率膜-"EDリサーチ社. 54 (2002)
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Shozo Shinmiyahara：“多层布线技术的最新趋势-铜布线/低介电常数薄膜-” ED Research Co., Ltd. 54 (2002)
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