大面積電子ビーム照射法による高アスペクト比穴底面仕上げ
大面積電子ビーム照射法による高アスペクト比穴底面仕上げ
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采用大面积电子束照射法的高深宽比孔底精加工
DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
木村充宏,篠永東吾,岡田 晃,井上基弘
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Mituhiro Kimura;Togo Shinonaga;Motohiro Inoue;Akira Okada;木村充宏,篠永東吾,岡田 晃,井上基弘