Fatigue of polycrystalline silicon for microelectromechanical system applications: crack growth and stability under resonant loading conditions

Fatigue of polycrystalline silicon for microelectromechanical system applications: crack growth and stability under resonant loading conditions
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用于微机电系统应用的多晶硅疲劳:谐振负载条件下的裂纹扩展和稳定性

DOI:
10.1016/s0167-6636(03)00028-0
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发表时间:
2004
影响因子:
3.9
通讯作者:
R. Ritchie
R. Ritchie
中科院分区:
材料科学2区
文献类型:
--
作者:
C. Muhlstein;R. Howe;R. Ritchie

文献摘要

参考文献

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