Improved interfaces of high-k ZrO2 and AlGaN via ex-situ MOVPE regrowth
Improved interfaces of high-k ZrO2 and AlGaN via ex-situ MOVPE regrowth
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通过异位 MOVPE 再生长改善高 k ZrO2 和 AlGaN 的界面
DOI:
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发表时间:
2020
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Masaaki Kuzuhara
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Itsuki Nagase;Joel T. Asubar; Rui Shan Low;Shun Urano;Shunsuke Kamiya;Ali Baratov;Hirokuni Tokuda;Akio Yamamoto;Masaaki Kuzuhara