H.Kato,M.Tawata,Shinzo Morita,S.Hattori: "Dry Formation of Fatty Acid Crystallized Thin Film and Application As an Electron Beam Resist" Thin Solid Films. 179(1). (1989)
H.Kato,M.Tawata,Shinzo Morita,S.Hattori: "Dry Formation of Fatty Acid Crystallized Thin Film and Application As an Electron Beam Resist" Thin Solid Films. 179(1). (1989)
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H.Kato，M.Tawata，Shinzo Morita，S.Hattori：“脂肪酸结晶薄膜的干法形成及其作为电子束抗蚀剂的应用”固体薄膜。
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