齋藤、河辺: "リモートプラズマ励起窒素・酸素を用いたシリコン窒化酸化膜の形成" 電子情報通信学会技術研究報告. SDM95-151. 45-50 (1995)
齋藤、河辺: "リモートプラズマ励起窒素・酸素を用いたシリコン窒化酸化膜の形成" 電子情報通信学会技術研究報告. SDM95-151. 45-50 (1995)
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Saito, Kawabe：“利用远程等离子体激发氮和氧形成氮氧化硅薄膜” IEICE 技术研究报告 45-151 (1995)。
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