Distributions of hafnia and titania cores in EUV metal resists evaluated by scanning transmission electron microscopy and electron energy loss spectroscopy
Distributions of hafnia and titania cores in EUV metal resists evaluated by scanning transmission electron microscopy and electron energy loss spectroscopy
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通过扫描透射电子显微镜和电子能量损失光谱评估 EUV 金属抗蚀剂中二氧化铪和二氧化钛核的分布
DOI：
10.7567/apex.9.111801
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发表时间：
2016
影响因子：
2.3
通讯作者：
T. Itani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Toriumi;Y. SATO;M. Koshino;K. Suenaga;T. Itani
