4H-SiCエピタキシャル薄膜中のV字型格子欠陥の構造解析
4H-SiCエピタキシャル薄膜中のV字型格子欠陥の構造解析
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4H-SiC外延薄膜中V型晶格缺陷的结构分析
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
幾原 雄一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
栃木 栄太;中川 翼;松畑 洋文;山口 博隆;関口 孝史;幾原 雄一
