化学气相沉积法制备碳化铬薄膜的研究
化学气相沉积法制备碳化铬薄膜的研究
复制标题
DOI：
10.19843/j.cnki.cn42-1779/tq.202011021
复制
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
潘天宇
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
李紫琪;赵培;刘莎;陈志杰;李哲成;潘天宇
