Theoretical Studies of Realizing High Sensitivity for Frequency-Chage-Type Single-Crystal Silicon Two-Axis Acceleration Sensor

Theoretical Studies of Realizing High Sensitivity for Frequency-Chage-Type Single-Crystal Silicon Two-Axis Acceleration Sensor
复制标题

变频型单晶硅两轴加速度传感器实现高灵敏度的理论研究

DOI：
--
复制
发表时间：
2008
期刊：
Jpn. J. Appl. Phys. Vol.47,No.8
影响因子：
--
通讯作者：
Jumpei Koike
Jumpei Koike
中科院分区：
--
文献类型：
--
作者：
Sumio Sugawara;Jumpei Koike

文献摘要

相似文献