Y.Fukuta,D.Collard T.Akiyama,E.H.Yang H.Fujita: "Microactuated Self-Assembling of 3D Polysilicon Structures with Reshaping Technology" Proceedings IEEE the 10th Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems. 477-481 (1997)
Y.Fukuta,D.Collard T.Akiyama,E.H.Yang H.Fujita: "Microactuated Self-Assembling of 3D Polysilicon Structures with Reshaping Technology" Proceedings IEEE the 10th Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems. 477-481 (1997)
复制标题
Y.Fukuta、D.Collard T.Akiyama、E.H.Yang H.Fujita：“采用重塑技术的 3D 多晶硅结构的微驱动自组装”论文集 IEEE 第 10 届微机电系统国际研讨会。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
