CNx膜の摩擦特性に及ぼす雰囲気ガスの影響と超低摩擦実現のための酸素濃度限界
CNx膜の摩擦特性に及ぼす雰囲気ガスの影響と超低摩擦実現のための酸素濃度限界
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大气气体对CNx薄膜摩擦性能的影响及实现超低摩擦的氧气浓度限制
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
竹之下雪徳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
野老山貴行;中村隆;梅原徳次;冨田博嗣;竹之下雪徳
