導波路モードを用いた超音波用振動子による次世代半導体ウェーハ洗浄
導波路モードを用いた超音波用振動子による次世代半導体ウェーハ洗浄
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使用波导模式超声波振动器的下一代半导体晶片清洗
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鈴木一成,潘毅,岡野勝一,副島潤一郎,小池義和
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鈴木一成,潘毅,岡野勝一,副島潤一郎,小池義和
