E.Makino: "Micromachining of fine ceramics by photolithography"Sensors and Actuators A. A75/3. 278-288 (1999)
E.Makino: "Micromachining of fine ceramics by photolithography"Sensors and Actuators A. A75/3. 278-288 (1999)
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E.Makino：“通过光刻技术对精细陶瓷进行微加工”传感器和执行器 A. A75/3。
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