A Microactuator Driven by Pressure due to ECF-jet

A Microactuator Driven by Pressure due to ECF-jet
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ECF-jet 压力驱动的微执行器

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Proc.The First Joint International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology (CD-Rom)
影响因子：
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通讯作者：
K.Edamura
K.Edamura
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
R.Abe;S.Yokota;K.Takemura;K.Edamura

文献摘要

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