FROM THE CURRENT LITERATURE: Low-pressure radio-frequency inductive discharge and possibilities of optimizing inductive plasma sources
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现有文献：低压射频感应放电以及优化感应等离子体源的可能性
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
E. A. Kral’kina
中科院分区：
文献类型：
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作者：
E. A. Kral’kina
