計装化in-situ Vickers Indentation法の挑戦とSi結晶の異方性破壊挙動の理解

計装化in-situ Vickers Indentation法の挑戦とSi結晶の異方性破壊挙動の理解
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仪器化原位维氏压痕法的挑战以及对硅晶体各向异性断裂行为的理解

DOI:
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发表时间:
2020
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
池田賢一
池田賢一
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
仲野暁登;三浦誠司;池田賢一

文献摘要

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