圧電マイクロデバイスのための金属薄膜電極パターンの作製
圧電マイクロデバイスのための金属薄膜電極パターンの作製
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压电微器件金属薄膜电极图案的制作
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
伊藤 高廣
中科院分区：
文献类型：
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作者：
力丸 真也;冨山 直人;村上 直*;伊藤 高廣
