Fabrication of Functional Subwavelength Structured Surface Using Evanescent Wave Interference Lithography
Fabrication of Functional Subwavelength Structured Surface Using Evanescent Wave Interference Lithography
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使用倏逝波干涉光刻技术制造功能性亚波长结构化表面
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Satoru Takahashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shuzo Masui;Masaki Michihata;Kiyoshi Takamasu;Toshihiko Shibanuma;Hironao Tanaka;Satoru Takahashi
