Fabrication of single crystal silicon micro-/nanostructures and transferring them to flexible substrates
Fabrication of single crystal silicon micro-/nanostructures and transferring them to flexible substrates
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单晶硅微/纳米结构的制造并将其转移到柔性基板上
DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
L. Lorenzelli
中科院分区:
文献类型:
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作者:
R. Dahiya;A. Adami;C. Collini;L. Lorenzelli