K.Yokota, R.Satoh, Y.Iwata, K.Fujimoto, S Ura, K.Kintaka: "Development of Au reflection film with high adhesion for optical interconnection between LSI chips"Technical Digest, 36th International Symposium on Microelectronics. 756-761 (2003)
K.Yokota, R.Satoh, Y.Iwata, K.Fujimoto, S Ura, K.Kintaka: "Development of Au reflection film with high adhesion for optical interconnection between LSI chips"Technical Digest, 36th International Symposium on Microelectronics. 756-761 (2003)
复制标题
K.Yokota、R.Satoh、Y.Iwata、K.Fujimoto、S Ura、K.Kintaka：“开发用于 LSI 芯片之间光学互连的高粘附性金反射膜”技术文摘，第 36 届国际微电子研讨会。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
