Measurement of strain and strain relaxation in free-standingSi membranes by convergent beam electron diffraction and finite element method
Measurement of strain and strain relaxation in free-standingSi membranes by convergent beam electron diffraction and finite element method
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通过会聚束电子衍射和有限元法测量自支撑硅膜的应变和应变弛豫
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Nakashima
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Gao;K.Ikeda;S.Hata;H.Nakashima,D.Wang;H.Nakashima
