K.Kaga, T.Kimura, T.Imaeda, K.Ohe: "Spatial structure of electronegative Ar/CF_4 plasmas in capacitively RF discharges"Jpn.J.Appl.Phys. 40. 6115-6116 (2001)
K.Kaga, T.Kimura, T.Imaeda, K.Ohe: "Spatial structure of electronegative Ar/CF_4 plasmas in capacitively RF discharges"Jpn.J.Appl.Phys. 40. 6115-6116 (2001)
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K.Kaga、T.Kimura、T.Imaeda、K.Ohe：“电容性射频放电中电负性 Ar/CF_4 等离子体的空间结构”Jpn.J.Appl.Phys。
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