ロッド部品の1 ピースコーティング用に新開発された同軸型 マグネトロンスパッタリング装置のHiPIMS およびDCMS 駆動の比較
ロッド部品の1 ピースコーティング用に新開発された同軸型 マグネトロンスパッタリング装置のHiPIMS およびDCMS 駆動の比較
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新开发的同轴磁控溅射设备用于杆件一体式涂层的 HiPIMS 和 DCMS 驱动器比较
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
末松 孝太，上坂 裕之，古木 辰也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroyuki Kousaka; Kouta Suematsu;Tatsuya Furuki;末松 孝太，上坂 裕之，古木 辰也
