渡辺 賢一,中山 喜萬,脇田 和樹,河村 孝夫: "低周波重畳高周波電力によるSiH_4プラズマの制御" 1990年秋季第51回応用物理学会学術講演会講演予稿集. 1. 32 (1990)
渡辺 賢一,中山 喜萬,脇田 和樹,河村 孝夫: "低周波重畳高周波電力によるSiH_4プラズマの制御" 1990年秋季第51回応用物理学会学術講演会講演予稿集. 1. 32 (1990)
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Kenichi Watanabe、Yoshiman Nakayama、Kazuki Wakita、Takao Kawamura：“通过低频叠加高频功率控制 SiH_4 等离子体”第 51 届日本应用物理学会学术会议论文集，1990 年秋季 1. 32 (1990)
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