V.V.Serikov: "Profile of Aletch rate estimated from the analysis of 3-D rarefied flow of Cl_2, BCl_3 and AlCl_3 in a commercial etcher." Vacuum. 47. 1027-1029 (1996)
V.V.Serikov: "Profile of Aletch rate estimated from the analysis of 3-D rarefied flow of Cl_2, BCl_3 and AlCl_3 in a commercial etcher." Vacuum. 47. 1027-1029 (1996)
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V.V.Serikov：“根据商业蚀刻机中 Cl_2、BCl_3 和 AlCl_3 的 3-D 稀薄流分析估算出的 Aletch 速率曲线。”
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